国产半导体光刻胶供应情况
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国产半导体光刻胶供应情况:
虽然近年来,随着国产半导体制造业务发展,国产光刻胶厂商也取得了一些突破,但是在中高端光刻胶市场仍是相对较弱。
具体来说,低端的中g线/i线光刻胶自给率约为20%,KrF光刻胶自给率不足5%,而高端的ArF光刻胶则主要依赖于进口,是国内半导体的卡脖子技术之一。至于EUV光刻胶,由于美国的阻挠,国内目前无法进口EUV光刻机,因此国产EUV光刻胶的开发自然也无从谈起。
去年5月,日本光刻胶巨头JSR的首席执行官埃里克•约翰逊(Eric Johnson)在接受采访时曾表示,尽管中国大陆在努力推动芯片的自给自足,但中国半导体产业必要的基础设施不足,比如很难掌握基于极紫外(EUV)光刻的复杂芯片制造技术,发展先进制程的芯片制造技术将非常困难。
对于中国在光刻胶领域的追赶,以及希望在高端光刻胶技术上的突破,约翰逊认为,即便中国获得相关化学成分的确切资料,但在纯度、精度及制造上都非常困难,且中国也没有供应链支持。但中国当局积极投资成熟的芯片技术,也是不容忽视的一部分,“人们还没充分意识到,中国有多少机会可以不依赖这些先进制程。”
国产光刻胶厂商布局与最新进展:
目前国产g/i 线光刻胶供应商主要有晶瑞电材(苏州瑞红)、彤程新材(北京科华),总体在全球市场份额约10%;
在KrF光刻胶方面,国内的彤程新材(北京科华)、上海新阳、晶瑞电材(苏州瑞红)、徐州博康(华懋科技持有约26%股份)等都有布局,但实现量产供货的却不多,整体市场份额不到1%。
在ArF光刻胶方面,国内的南大光电、晶瑞电材(苏州瑞红)、彤程新材(北京科华)、上海新阳、徐州博康(华懋科技持有约26%股份)等也都有布局,但没有实现大批量量产供货。
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